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一种硅片清洗堆叠输送一体化系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110223794.8
申请日：
2021-03-01
公开(公告)号：
CN112588689A
公开(公告)日：
2021-04-02
发明(设计)人：
钱诚
田晓东
李刚
申请人：
申请人地址：
213000 江苏省常州市武进区常武中路801号天润科技大厦B座8楼
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
B08B1300
H01L2167
代理机构：
南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272
代理人：
王晓东
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-02 | 公开 | 公开 |
| 2021-04-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20210301 |
| 2022-07-08 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):B08B 3/02 登记生效日:20220627 变更事项:专利权人 变更前权利人:常州江苏大学工程技术研究院 变更后权利人:江苏亚电科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:213000 江苏省常州市武进区常武中路801号天润科技大厦B座8楼 变更后权利人:225300 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号 变更事项:专利权人 变更前权利人:江苏亚电科技有限公司 |
| 2021-05-18 | 授权 | 授权 |