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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-26 | 授权 | 授权 |
| 2023-01-06 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:专利权人 变更前:弥费实业(上海)有限公司 变更后:弥费科技(上海)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:200131 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区秋山路1775弄3-4号1楼 变更后:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区秋山路1775弄3-4号1楼 |
| 2022-06-10 | 公开 | 公开 |
| 2022-06-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20220511 |