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相位差控制装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980014264.3
申请日：
2019-01-30
公开(公告)号：
CN111742202A
公开(公告)日：
2020-10-02
发明(设计)人：
三好有一
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G01J404
IPC分类号：
G01N2119
G02B2728
G02F101
G05D2500
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-02 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 4/04 申请日:20190130 |