共 50 条
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被加工物的加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010972662.0
申请日：
2020-09-16
公开(公告)号：
CN112530801A
公开(公告)日：
2021-03-19
发明(设计)人：
渡边义雄
高桥宏行
和田健太郎
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L213065
IPC分类号：
H01J3732
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-19 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20200916 |