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用于气相沉积的掩膜版及掩膜版组

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023100833.5
申请日：
2020-12-22
公开(公告)号：
CN214300315U
公开(公告)日：
2021-09-28
发明(设计)人：
彭寿 马立云 殷新建 陈瑛 周显华 樊中军
申请人：
申请人地址：
200063 上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424 C23C1454
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
贺妮妮
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-09-28 授权 授权
共 50 条
[1]
掩膜版及掩膜版组 [P]. 
陈宁 ;
郭炜 ;
王路 .
中国专利 :CN201974631U ,2011-09-14
[2]
掩膜版及掩膜版组 [P]. 
陈宁 ;
郭炜 ;
王路 .
中国专利 :CN201974632U ,2011-09-14
[3]
子掩膜版及掩膜版 [P]. 
谢飞 ;
苏胜利 ;
张佳成 ;
周俊吉 .
中国专利 :CN207775334U ,2018-08-28
[4]
掩膜版及工具掩膜 [P]. 
吴建鹏 ;
崔宏达 .
中国专利 :CN217517015U ,2022-09-30
[5]
掩膜版 [P]. 
刘明星 ;
王徐亮 ;
甘帅燕 ;
高峰 ;
张玄 .
中国专利 :CN208266254U ,2018-12-21
[6]
掩膜版 [P]. 
石晶晶 ;
褚福川 .
中国专利 :CN207799330U ,2018-08-31
[7]
掩膜版 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN210072315U ,2020-02-14
[8]
掩膜版 [P]. 
李伟 ;
刘富军 ;
朱杰 ;
魏崇喜 .
中国专利 :CN202886836U ,2013-04-17
[9]
掩膜版 [P]. 
邱云 ;
林准焕 .
中国专利 :CN201867584U ,2011-06-15
[10]
掩膜版 [P]. 
金普楠 .
中国专利 :CN203324647U ,2013-12-04
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