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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-04-10 | 授权 | 授权 |
| 2023-01-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05K 13/02 申请日:20120824 授权公告日:20130410 终止日期:20210824 |
| 2022-08-23 | 文件的公告送达 | 文件的公告送达 IPC(主分类):H05K 13/02 收件人:深圳市华腾半导体设备有限公司专利负责人 文件名称:专利权终止通知书 |