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晶圆固定装置、晶圆固定基座及晶圆真空吸盘
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810191580.5
申请日：
2018-03-08
公开(公告)号：
CN110246797A
公开(公告)日：
2019-09-17
发明(设计)人：
陈贤鸿
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹市香山区中华路六段89号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218
代理人：
翟羽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-17 | 公开 | 公开 |
| 2019-10-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20180308 |