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一种光刻掩膜版及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811567935.2
申请日：
2018-12-21
公开(公告)号：
CN109445243A
公开(公告)日：
2019-03-08
发明(设计)人：
王峰
申请人：
申请人地址：
215221 江苏省苏州市吴江区平望镇唐家湖大道18号商务中心大楼六楼608室
IPC主分类号：
G03F100
IPC分类号：
G03F168
代理机构：
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103
代理人：
范晴;丁浩秋
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-08 | 公开 | 公开 |
| 2019-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/00 申请日:20181221 |