大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010583493.8
申请日
2010-12-13
公开(公告)号
CN102148325B
公开(公告)日
2011-08-10
发明(设计)人
张学成 明绍寒 张晟
申请人
申请人地址
130012 吉林省长春市前进大街2699号
IPC主分类号
H01L4109
IPC分类号
H01L4125
代理机构
长春吉大专利代理有限责任公司 22201
代理人
齐安全
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
压电陶瓷微位移驱动器及其面形干涉仪 [P]. 
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[2]
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[3]
压电陶瓷位移驱动器 [P]. 
杨晓峰 ;
王振华 ;
康华洲 ;
陈庆生 ;
郝凌凌 .
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[4]
压电陶瓷位移驱动器 [P]. 
杨晓峰 ;
王振华 ;
康华洲 ;
陈庆生 ;
郝凌凌 .
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[5]
微位移驱动器 [P]. 
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中国专利 :CN2048242U ,1989-11-22
[6]
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陈建国 .
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[7]
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[8]
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曹庄琪 ;
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[9]
压电陶瓷纳米分辨位移驱动器 [P]. 
陈凡 ;
曹庄琪 ;
殷澄 .
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[10]
基于压电叠堆的微位移驱动器 [P]. 
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罗国富 ;
吴学红 ;
杨发亮 .
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