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气体的高精度电子压力流量闭环控制系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111425191.2
申请日：
2021-11-26
公开(公告)号：
CN114063688A
公开(公告)日：
2022-02-18
发明(设计)人：
郝明富
黄华
刘大伟
申请人：
申请人地址：
200000 上海市松江区徐塘路88号7幢4层、9幢
IPC主分类号：
G05D2702
IPC分类号：
G01N3032
代理机构：
上海九泽律师事务所 31337
代理人：
周云
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 27/02 申请日:20211126 |