一种柔性薄膜压力传感器的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910197636.2
申请日
2019-03-15
公开(公告)号
CN109945999A
公开(公告)日
2019-06-28
发明(设计)人
蒋书文 于江涛 肖瑶 术洋溢 张万里
申请人
申请人地址
611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
IPC主分类号
G01L120
IPC分类号
代理机构
电子科技大学专利中心 51203
代理人
吴姗霖
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种柔性薄膜压力传感器及其制备方法 [P]. 
张燕军 ;
孙晨 ;
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吴伟伟 ;
缪宏 ;
高吉成 ;
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[2]
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李晓军 ;
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[3]
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樊晓文 ;
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[4]
一种添加量子点的微结构化柔性薄膜压力传感器及其制备方法 [P]. 
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毛照斐 ;
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[5]
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[6]
一种柔性薄膜压力传感器 [P]. 
雷桥平 .
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[7]
一种柔性薄膜压力传感器 [P]. 
雷桥平 .
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[8]
柔性薄膜压力传感器结构 [P]. 
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[9]
一种柔性压力传感器的制备方法及柔性压力传感器 [P]. 
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陈颖 ;
徐明 .
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[10]
一种电容式柔性薄膜压力传感器及其制备方法 [P]. 
朱向忠 ;
李晓军 ;
何志朋 ;
封力行 ;
张欢 .
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