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一种光刻机大理石平台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121642417.X
申请日：
2021-07-20
公开(公告)号：
CN215219418U
公开(公告)日：
2021-12-17
发明(设计)人：
黄良斌
刘冉
孙润光
孙润文
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市常熟经济技术开发区研究院路9号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
H05K306
代理机构：
常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙) 32338
代理人：
曹锦涛
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-17 | 授权 | 授权 |