具有场聚合物保护的方向性选择性接面清洁

被引：0

申请号：

CN202180008580.7

申请日：

2021-05-17

公开(公告)号：

CN114930508A

公开(公告)日：

2022-08-19

发明(设计)人：

雷雨路雪松河泰泓唐先敏安德鲁·阮龚则敬菲利普·A·克劳斯刘仲楠孙晖呼宇飞

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21311

IPC分类号：

H01L2102 H01L218238 H01L2167 H01L21683 H01L21687 H01J3732

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/311 申请日:20210517
2022-08-19	公开	公开

共 50 条

[1]

用于硅填隙工艺的方向性选择性填充 [P].

畠山大辉 ;

巴加夫·S·西特拉 ;

马强 ;

刘彪 ;

斯里尼瓦斯·D·内曼尼 .

美国专利 :CN120569803A ,2025-08-29

[2]

用于选择性烧结的聚合物组合物 [P].

顾昊 ;

Z·巴舍 .

中国专利 :CN111655756A ,2020-09-11

[3]

用于选择性烧结的聚合物组合物 [P].

Z·巴什尔 ;

顾昊 .

中国专利 :CN109563246B ,2019-04-02

[4]

结构改性聚合物的选择性烧结 [P].

A·普菲策尔 ;

F·米勒 ;

M·罗伊特勒 .

中国专利 :CN104647764A ,2015-05-27

[5]

结构改性聚合物的选择性烧结 [P].

A·普菲策尔 ;

F·米勒 ;

M·罗伊特勒 .

中国专利 :CN101623929A ,2010-01-13

[6]

热选择性导电聚合物片 [P].

R·P·布尔德莱斯 ;

C·J·卡明斯基 ;

J·M·波钱 ;

J·F·埃尔曼 .

中国专利 :CN1781160A ,2006-05-31

[7]

用于选择性烧结方法的聚合物组合物 [P].

W.迪克曼 ;

M.格雷贝 ;

F-E.鲍曼 ;

W.克里斯托弗 ;

S.蒙谢默 ;

B.屈廷 .

中国专利 :CN108368274A ,2018-08-03

[8]

通过使用聚合物掩模的选择性沉积 [P].

M.S.伯贝里 ;

D.H.莱维 .

中国专利 :CN103959434A ,2014-07-30

[9]

共轭二烯聚合物的选择性加氢 [P].

Ｌ·Ｒ·查博尔兰 ;

Ｃ·Ｊ·吉玻勒 .

中国专利 :CN1045608C ,1993-06-30

[10]

使用流动性聚合物的选择性金属移除 [P].

吴立其 ;

刘风全 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

詹姆斯·H·康诺利 ;

亓智敏 ;

张洁 ;

窦伟 ;

张爱西 ;

马克·萨利 ;

吕疆 ;

汪荣军 ;

戴维·汤普森 ;

唐先敏 .

美国专利 :CN119173997A ,2024-12-20

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