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用于夹紧工件的真空夹紧装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201580073981.5
申请日：
2015-12-17
公开(公告)号：
CN107210248A
公开(公告)日：
2017-09-26
发明(设计)人：
A·欧雷穆斯
申请人：
申请人地址：
奥地利菲拉赫
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21683
代理机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人：
俞琳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20151217 |
| 2020-10-30 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20170926 |
| 2017-09-26 | 公开 | 公开 |