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用于膜架传送机的改进型弹簧垫
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680023676.X
申请日：
2016-03-14
公开(公告)号：
CN107534006A
公开(公告)日：
2018-01-02
发明(设计)人：
J·T·斯蒂芬斯
R·V·拉施克
申请人：
申请人地址：
美国马萨诸塞州
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
顾晨昕
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20160314 |
| 2018-01-02 | 公开 | 公开 |
| 2020-11-03 | 授权 | 授权 |