一种掩膜板的制作方法、制作系统及掩膜板

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710248733.0

申请日：

2017-04-17

公开(公告)号：

CN106997146B

公开(公告)日：

2017-08-01

发明(设计)人：

侯学成王琪卢凯

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F168

IPC分类号：

代理机构：

北京安信方达知识产权代理有限公司 11262

代理人：

胡艳华;李丹

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-01	公开	公开
2021-01-26	授权	授权
2017-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101743988148 IPC(主分类):G03F 1/68 专利申请号:2017102487330 申请日:20170417

共 50 条

[1]

掩膜板制作方法及掩膜板 [P].

刘周英 .

中国专利 :CN109830511A ,2019-05-31

[2]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

刘明星 ;

王徐亮 ;

高峰 ;

张玄 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN108559947B ,2018-09-21

[3]

掩膜板的制作方法及掩膜板 [P].

潘晟恺 ;

李如 ;

熊腾青 ;

乔永康 ;

杨凯 .

中国专利 :CN113005399A ,2021-06-22

[4]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

周丽芳 ;

刘明星 ;

王徐亮 .

中国专利 :CN108642441A ,2018-10-12

[5]

掩膜板的制作方法及掩膜板 [P].

肖灿俊 ;

徐健 ;

刘耀阳 .

中国专利 :CN107740041A ,2018-02-27

[6]

掩膜板及掩膜板的制作方法 [P].

毕娜 ;

王威 ;

刘华猛 .

中国专利 :CN117305767B ,2025-09-19

[7]

掩膜板的制作方法及掩膜板 [P].

王亚 ;

钱超 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN119194349B ,2025-04-04

[8]

掩膜板的制作方法及掩膜板 [P].

王亚 ;

钱超 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN119194349A ,2024-12-27

[9]

掩膜板的制作方法及掩膜板 [P].

肖志慧 ;

郭远征 ;

王菲菲 .

中国专利 :CN110158025B ,2019-08-23

[10]

掩膜板的制作方法、掩膜板及掩膜组件 [P].

张丁成 .

中国专利 :CN120330659A ,2025-07-18

← 1 2 3 4 5 →