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一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920566140.3
申请日：
2019-04-24
公开(公告)号：
CN209974301U
公开(公告)日：
2020-01-21
发明(设计)人：
陈增瑞
张平均
张玓瓅
申请人：
申请人地址：
510830 广东省广州市花都区赤坭镇黄沙塘大村刘巷8号
IPC主分类号：
C01B15013
IPC分类号：
代理机构：
北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246
代理人：
邹仕娟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-21 | 授权 | 授权 |