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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-11-17 | 授权 | 授权 |
| 2017-11-10 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/033 变更事项:申请人 变更前:日立化成工业株式会社 变更后:日立化成株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都千代田区丸内一丁目9番2号 变更事项:申请人 变更前:上海交通大学 变更后:上海交通大学 |
| 2013-04-24 | 公开 | 公开 |
| 2014-11-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101588976100 IPC(主分类):G03F 7/033 专利申请号:2012104018414 申请日:20121019 |