一种激光蒸发镀膜装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201220645753.4
申请日
2012-11-28
公开(公告)号
CN202968677U
公开(公告)日
2013-06-05
发明(设计)人
粟婷 杨柳 刘昕
申请人
申请人地址
528400 广东省中山市火炬开发区创业大厦229号
IPC主分类号
C23C1428
IPC分类号
代理机构
中山市汉通知识产权代理事务所 44255
代理人
田子荣;石仁
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种激光蒸发镀膜装置 [P]. 
粟婷 ;
杨柳 ;
刘昕 .
中国专利 :CN102953033A ,2013-03-06
[2]
一种蒸发镀膜仪 [P]. 
邾根祥 ;
方辉 ;
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[3]
一种蒸发镀膜装置 [P]. 
陈腾 ;
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中国专利 :CN207987320U ,2018-10-19
[4]
一种蒸发镀膜装置 [P]. 
陈自新 ;
朱海锋 ;
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蒋慧 .
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[5]
一种蒸发镀膜装置 [P]. 
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[6]
一种蒸发镀膜装置 [P]. 
张秀明 ;
张贻海 ;
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[7]
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刘家梁 ;
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[8]
一种用于蒸发镀膜的蒸发源引导机构和蒸发镀膜装置 [P]. 
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[9]
蒸发镀膜装置 [P]. 
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[10]
蒸发镀膜装置 [P]. 
臧世伟 .
中国专利 :CN220952011U ,2024-05-14