对准装置和对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480004760.8

申请日：

2014-01-15

公开(公告)号：

CN104904002A

公开(公告)日：

2015-09-09

发明(设计)人：

木村孔中尾裕利柴智志坂内雄也

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

秦琳;姜甜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101628107217 IPC(主分类):H01L 21/68 专利申请号:2014800047608 申请日:20140115
2017-08-18	授权	授权
2015-09-09	公开	公开

共 50 条

[1]

对准装置和对准方法 [P].

黃松怡 ;

林惠知 .

韩国专利 :CN118398539A ,2024-07-26

[2]

对准装置和对准方法 [P].

卡尔·H·皮拉瓦瑟 ;

播冈好之 ;

池端谦 ;

柿沼良典 ;

石松阳介 ;

泽山良太 .

中国专利 :CN112020769A ,2020-12-01

[3]

对准装置和对准方法 [P].

卡尔·H·皮拉瓦瑟 ;

播冈好之 ;

池端谦 ;

柿沼良典 ;

石松阳介 ;

泽山良太 .

德国专利 :CN112020769B ,2025-04-29

[4]

用于对准装置的对准元件和对准方法 [P].

M·贝克 .

中国专利 :CN104870128B ,2015-08-26

[5]

光刻对准标记、制备方法、对准装置和对准方法 [P].

金浩 ;

席朝晖 ;

彭彬 .

中国专利 :CN121142927A ,2025-12-16

[6]

双层对准装置和双层对准方法 [P].

周许超 ;

潘炼东 ;

朱树存 .

中国专利 :CN107329379A ,2017-11-07

[7]

器件对准装置和器件对准方法 [P].

于赛 .

中国专利 :CN118859414A ,2024-10-29

[8]

对准装置及对准方法 [P].

川越理史 ;

増市干雄 ;

上野博之 ;

上野美佳 ;

谷口和隆 ;

正司和大 ;

芝藤弥生 ;

田中哲夫 ;

陶山武史 .

中国专利 :CN107443883A ,2017-12-08

[9]

对准装置及对准方法 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN104465472A ,2015-03-25

[10]

对准装置及对准方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119786419A ,2025-04-08

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