用于检测基板表面缺陷的装置、系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610826737.8

申请日：

2016-09-18

公开(公告)号：

CN107845584B

公开(公告)日：

2018-03-27

发明(设计)人：

沈满华伍强

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

刘倜

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-27	公开	公开
2020-10-30	授权	授权
2018-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20160918

共 50 条

[1]

基板表面缺陷检测装置、图像畸变校正方法和装置以及基板表面缺陷检测设备 [P].

伍强 ;

熊威 ;

李璇 .

中国专利 :CN107845583B ,2018-03-27

[2]

表面缺陷检测方法和表面缺陷检测装置 [P].

雷富强 ;

马刘文 ;

关鹏 ;

张巍 ;

任海英 ;

李燃 ;

杨朝晖 ;

张富超 .

中国专利 :CN120655644A ,2025-09-16

[3]

玻璃基板表面缺陷检测系统 [P].

洪亚德 ;

陈松岩 ;

潘书万 .

中国专利 :CN210015060U ,2020-02-04

[4]

表面缺陷检测系统和方法 [P].

张孟 ;

廖方诚 ;

曾江东 .

中国专利 :CN110161045A ,2019-08-23

[5]

表面缺陷检测系统和检测方法 [P].

陈勇 ;

赵剑 ;

吴华 ;

张传升 .

中国专利 :CN112255242A ,2021-01-22

[6]

掩模基板表面微纳缺陷检测装置和检测方法 [P].

倪开灶 ;

邵建达 ;

刘世杰 ;

徐学科 ;

顿爱欢 ;

曹俊 ;

方媛媛 .

中国专利 :CN114965369B ,2024-04-12

[7]

玻璃基板表面缺陷检测方法及其系统 [P].

李阳 .

中国专利 :CN120668666A ,2025-09-19

[8]

表面缺陷检测方法和装置 [P].

黎华勇 ;

汤泉 ;

潘威 ;

曹玲 ;

卢盛林 .

中国专利 :CN119804319A ,2025-04-11

[9]

表面缺陷检测方法及表面缺陷检测系统 [P].

曹文 ;

龙攀城 ;

丁玲玲 ;

付翱 .

中国专利 :CN115575399A ,2023-01-06

[10]

用于织物表面缺陷检测的方法、装置和设备 [P].

金玲玲 ;

饶东升 ;

何文玮 ;

宋晓文 .

中国专利 :CN109146875A ,2019-01-04

← 1 2 3 4 5 →