一种快速响应的CMOS相对湿度传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910183227.3

申请日：

2009-07-23

公开(公告)号：

CN101620197A

公开(公告)日：

2010-01-06

发明(设计)人：

赵成龙黄庆安秦明

申请人：

申请人地址：

210096江苏省南京市四牌楼2号

IPC主分类号：

G01N2722

IPC分类号：

B81B702

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：

叶连生

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-05	授权	授权
2022-07-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 27/22 申请日:20090723 授权公告日:20120905 终止日期:20210723
2010-03-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-01-06	公开	公开

共 50 条

[1]

电容式相对湿度传感器 [P].

赵成龙 ;

黄庆安 ;

秦明 .

中国专利 :CN201522471U ,2010-07-07

[2]

快速响应的微电子机械系统相对湿度传感器 [P].

赵成龙 ;

黄庆安 ;

秦明 .

中国专利 :CN102243199A ,2011-11-16

[3]

快速响应的微电子机械系统相对湿度传感器 [P].

赵成龙 ;

黄庆安 ;

秦明 .

中国专利 :CN202049132U ,2011-11-23

[4]

电容式相对湿度传感器 [P].

顾磊 ;

黄庆安 ;

秦明 ;

张中平 .

中国专利 :CN1203312C ,2003-11-12

[5]

CMOS工艺兼容的相对湿度传感器 [P].

彭韶华 ;

黄庆安 ;

秦明 ;

张中平 .

中国专利 :CN1657927A ,2005-08-24

[6]

一种电容式相对湿度传感器 [P].

鞠洪建 .

中国专利 :CN104655691A ,2015-05-27

[7]

相对湿度传感器 [P].

B·斯潘塞 ;

J·F·赫卡比 ;

胡怡 ;

D·维尔马 .

中国专利 :CN114064389A ,2022-02-18

[8]

制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器 [P].

E.杜鲁普特 .

中国专利 :CN110618171A ,2019-12-27

[9]

相对湿度传感器装置 [P].

D.贝兹 .

中国专利 :CN111189889A ,2020-05-22

[10]

应用阳极氧化铝膜的快速响应的相对湿度传感器 [P].

张春 ;

缪建英 ;

王宁 .

中国专利 :CN102639993B ,2012-08-15

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