基板运送装置及基板运送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980140251.7

申请日：

2009-04-28

公开(公告)号：

CN102177574A

公开(公告)日：

2011-09-07

发明(设计)人：

西尾秀次佐藤安安东嶺藤野昇

申请人：

申请人地址：

日本东京都武藏村山市

IPC主分类号：

H01L2150

IPC分类号：

代理机构：

北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329

代理人：

王礼华;毛威

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-01	授权	授权
2011-09-07	公开	公开
2011-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101131516904 IPC(主分类):H01L 21/50 专利申请号:2009801402517 申请日:20090428

共 50 条

[1]

基板运送装置以及基板运送方法 [P].

平田贤辅 ;

水野智夫 ;

村山晋 .

中国专利 :CN101512747B ,2009-08-19

[2]

基板运送装置以及基板运送方法 [P].

平田贤辅 ;

水野智夫 ;

村山晋 .

中国专利 :CN101512748A ,2009-08-19

[3]

基板运送装置 [P].

矶贝武义 ;

龟谷泰范 .

中国专利 :CN1654289A ,2005-08-17

[4]

基板运送装置、基板运送方法以及曝光装置 [P].

平柳德行 .

中国专利 :CN101006573A ,2007-07-25

[5]

基板运送装置、基板运送方法以及记录介质 [P].

北野真也 ;

中矢敦史 ;

吉田雅也 ;

藤森一夫 ;

冈田拓之 .

日本专利 :CN121149066A ,2025-12-16

[6]

基板运送装置 [P].

金东哲 ;

卢珉锡 ;

权荣炫 ;

郭真三 ;

文诚颢 ;

韩承希 ;

李玹佑 .

中国专利 :CN102089998A ,2011-06-08

[7]

基板运送装置 [P].

郑瑞忠 .

中国专利 :CN101468758A ,2009-07-01

[8]

基板运送装置 [P].

三浦好美 .

中国专利 :CN1456036A ,2003-11-12

[9]

基板运送装置 [P].

周子玮 .

中国专利 :CN1868837A ,2006-11-29

[10]

基板运送装置和基板运送方法以及真空处理装置 [P].

中山秀树 .

中国专利 :CN1326227C ,2005-02-02

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