硅片抓取机械手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320306699.5

申请日：

2013-05-30

公开(公告)号：

CN203242608U

公开(公告)日：

2013-10-16

发明(设计)人：

俞超

申请人：

申请人地址：

315201 浙江省宁波市镇海区庄市街道逸夫路177号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677 H01L3118

代理机构：

余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239

代理人：

胡小永

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-16	授权	授权
2018-06-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20130530 授权公告日:20131016 终止日期:20170530

共 50 条

[1]

一种硅片抓取机械手 [P].

张洪旺 ;

史卫利 .

中国专利 :CN207509217U ,2018-06-19

[2]

硅片机械手 [P].

蒋书伢 .

中国专利 :CN201685264U ,2010-12-29

[3]

抓取机械手 [P].

孟凡斗 .

中国专利 :CN220676349U ,2024-03-29

[4]

抓取机械手 [P].

莫卓亚 ;

陈文辉 .

中国专利 :CN213616767U ,2021-07-06

[5]

抓取机械手 [P].

海小平 ;

于化龙 ;

耿泽中 ;

张东林 ;

王卫国 .

中国专利 :CN205835382U ,2016-12-28

[6]

抓取机械手 [P].

程保星 .

中国专利 :CN204450537U ,2015-07-08

[7]

抓取机械手 [P].

李庆伟 ;

刘汉英 ;

李强强 .

中国专利 :CN213111483U ,2021-05-04

[8]

抓取机械手 [P].

汪家武 .

中国专利 :CN205272063U ,2016-06-01

[9]

抓取机械手 [P].

邰树强 .

中国专利 :CN208068291U ,2018-11-09

[10]

抓取机械手 [P].

赵聚营 .

中国专利 :CN205165631U ,2016-04-20

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