硅微谐振式加速度计

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410129567.9
申请日
2014-04-02
公开(公告)号
CN103901227A
公开(公告)日
2014-07-02
发明(设计)人
董景新 赵淑明 刘云峰
申请人
申请人地址
100084 北京市北京100084-82信箱
IPC主分类号
G01P15125
IPC分类号
B81B300
代理机构
深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311
代理人
哈达
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
硅微谐振式加速度计 [P]. 
董景新 ;
赵淑明 ;
刘云峰 .
中国专利 :CN103901225B ,2014-07-02
[2]
硅微谐振式加速度计 [P]. 
孙宝恒 .
中国专利 :CN104698221A ,2015-06-10
[3]
硅微谐振式加速度计 [P]. 
裘安萍 ;
施芹 ;
苏岩 .
中国专利 :CN101963624A ,2011-02-02
[4]
三轴集成硅微谐振式加速度计 [P]. 
董景新 ;
赵淑明 ;
刘云峰 .
中国专利 :CN103913595A ,2014-07-09
[5]
不等基频硅微谐振式加速度计 [P]. 
黄丽斌 ;
陈卫卫 ;
杨波 ;
王寿荣 ;
李宏生 .
中国专利 :CN202049179U ,2011-11-23
[6]
硅微谐振式加速度计 [P]. 
裘安萍 ;
施芹 ;
苏岩 .
中国专利 :CN101266259A ,2008-09-17
[7]
硅微谐振式加速度计 [P]. 
裘安萍 ;
施芹 ;
苏岩 .
中国专利 :CN201796049U ,2011-04-13
[8]
不等基频硅微谐振式加速度计 [P]. 
黄丽斌 ;
陈卫卫 ;
杨波 ;
王寿荣 ;
李宏生 .
中国专利 :CN102243251A ,2011-11-16
[9]
硅微谐振式加速度计的制备方法 [P]. 
董景新 ;
赵淑明 ;
刘云峰 ;
闫桂珍 .
中国专利 :CN103913596B ,2014-07-09
[10]
单锚点支撑式硅微谐振式加速度计 [P]. 
李宏生 ;
高阳 ;
黄丽斌 .
中国专利 :CN106199070B ,2016-12-07