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电感耦合线圈及电感耦合等离子体发生装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200810057125.2
申请日：
2008-01-30
公开(公告)号：
CN101500369B
公开(公告)日：
2009-08-05
发明(设计)人：
张文雯
申请人：
申请人地址：
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼
IPC主分类号：
H01L2100
IPC分类号：
H05H146
H01L213065
代理机构：
北京市德权律师事务所 11302
代理人：
李伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-09-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2011-06-15 | 授权 | 授权 |
| 2009-08-05 | 公开 | 公开 |
| 2018-08-14 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/00 变更事项:专利权人 变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 变更后:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 变更后:100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号 |