一种无掩膜曝光系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220176099.7

申请日：

2012-04-23

公开(公告)号：

CN202512361U

公开(公告)日：

2012-10-31

发明(设计)人：

丁海生李东昇马新刚江忠永张昊翔

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道10号大街300号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03H112

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑玮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-31	授权	授权
2014-03-12	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101696911122 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2012201760997 申请日:20120423 授权公告日:20121031 放弃生效日:20140312

共 50 条

[1]

一种无掩膜曝光系统及其曝光方法 [P].

丁海生 ;

李东昇 ;

马新刚 ;

江忠永 ;

张昊翔 .

中国专利 :CN102621827B ,2012-08-01

[2]

一种双光子无掩膜曝光系统 [P].

朱天宇 ;

梅文辉 ;

杜卫冲 .

中国专利 :CN211741831U ,2020-10-23

[3]

无掩膜曝光系统及方法 [P].

梅文辉 ;

杜卫冲 ;

曲鲁杰 .

中国专利 :CN103048885B ,2013-04-17

[4]

一种双光子无掩膜曝光系统 [P].

朱天宇 ;

梅文辉 ;

杜卫冲 .

中国专利 :CN111352311A ,2020-06-30

[5]

一种双光子无掩膜曝光系统 [P].

朱天宇 ;

梅文辉 ;

杜卫冲 .

中国专利 :CN111352311B ,2024-05-24

[6]

一种掩膜板及曝光系统 [P].

王曼 ;

翟玉漫 ;

张晓妹 .

中国专利 :CN206421156U ,2017-08-18

[7]

基于空间光调制器的无掩膜图形曝光系统 [P].

丁海生 ;

李东昇 ;

马新刚 ;

江忠永 ;

张昊翔 ;

李超 .

中国专利 :CN202916586U ,2013-05-01

[8]

一种无掩膜曝光镜头 [P].

桂立 .

中国专利 :CN113156779A ,2021-07-23

[9]

多波长无掩膜曝光装置 [P].

张昌清 ;

李文静 ;

何少峰 ;

刘文海 .

中国专利 :CN202486497U ,2012-10-10

[10]

无掩膜阻焊曝光机 [P].

平洁 .

中国专利 :CN205539931U ,2016-08-31

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