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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-07-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101671279890 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2013105610038 申请日:20131112 |
| 2015-05-20 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-09 | 授权 | 授权 |
| 2017-12-29 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/42 变更事项:申请人 变更前:安集微电子科技(上海)有限公司 变更后:安集微电子科技(上海)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层 变更后:201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层 |