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MEMS型半导体式气体检测元件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980030786.2
申请日：
2019-08-02
公开(公告)号：
CN112088305A
公开(公告)日：
2020-12-15
发明(设计)人：
三桥弘和
堂上长则
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
G01N2712
IPC分类号：
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
唐峥
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/12 申请日:20190802 |
| 2020-12-15 | 公开 | 公开 |