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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-30 | 授权 | 授权 |
| 2023-01-06 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/687 登记生效日:20221223 变更事项:专利权人 变更前权利人:苏州超理机电科技有限公司 变更后权利人:西安莲雾物联网科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:215200 江苏省苏州市吴江经济技术开发区江兴东路北侧1128号 变更后权利人:710076 陕西省西安市高新区锦业一路56号西安研祥城市广场B座20楼2030室 |