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压电驱动器及纳米位移台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110545870.7
申请日：
2021-05-19
公开(公告)号：
CN113280845A
公开(公告)日：
2021-08-20
发明(设计)人：
徐金林
许智
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
IPC主分类号：
G01D1100
IPC分类号：
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
姚莉娟
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-06 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):G01D 11/00 登记生效日:20221223 变更事项:申请人 变更前权利人:松山湖材料实验室 变更后权利人:松山湖材料实验室 变更事项:地址 变更前权利人:523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋 变更后权利人:523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋 变更事项:申请人 变更后权利人:中国科学院物理研究所 |
| 2021-08-20 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 11/00 申请日:20210519 |