混合气体的供给方法和混合气体的供给装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910261099.X

申请日：

2009-12-22

公开(公告)号：

CN101761778B

公开(公告)日：

2010-06-30

发明(设计)人：

内田阳平

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

F17D104 F17D301

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-27	授权	授权
2010-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005085202 IPC(主分类):F17D 1/04 专利申请号:200910261099X 申请日:20091222
2010-06-30	公开	公开

共 50 条

[1]

混合气体的供给方法和混合气体的供给装置 [P].

内田阳平 ;

山本高弘 .

中国专利 :CN101761779B ,2010-06-30

[2]

混合气体供给装置 [P].

村田逸人 ;

曾根大介 ;

杉浦辽 ;

幸田祥人 ;

今井建一 .

日本专利 :CN119998489A ,2025-05-13

[3]

混合气体供给装置 [P].

永濑正明 ;

土肥亮介 ;

西野功二 ;

池田信一 .

中国专利 :CN102934202A ,2013-02-13

[4]

混合气体供给装置 [P].

高桥秀美 ;

加藤毅 ;

道喜裕一 ;

市木山尚士 .

中国专利 :CN209952607U ,2020-01-17

[5]

硒化氢混合气体的供给方法及供给装置 [P].

山胁正也 .

中国专利 :CN104769727A ,2015-07-08

[6]

混合气体分离装置和分离混合气体的方法 [P].

孙晓辉 ;

崔启利 ;

肖武 ;

程安迪 ;

陈先树 ;

陈宏宇 ;

王云博 ;

盖竹兴 .

中国专利 :CN114046630A ,2022-02-15

[7]

混合气体分离方法以及混合气体分离装置 [P].

小林航 ;

清水克哉 ;

三浦绫 ;

野田宪一 .

日本专利 :CN117412800A ,2024-01-16

[8]

混合气体分离装置 [P].

肖雪峰 ;

杨长龙 ;

王本超 ;

谭昊 ;

汤人辉 .

中国专利 :CN209271017U ,2019-08-20

[9]

混合气体分离装置 [P].

陈光明 .

中国专利 :CN2529172Y ,2003-01-01

[10]

混合气体的分离装置 [P].

刘虎 ;

井维科 ;

张振方 ;

王志刚 ;

刘军 ;

马振怀 .

中国专利 :CN214130962U ,2021-09-07

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