一种大规模拼接焦平面探测器平面度测量装置与测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910144000.1

申请日：

2019-02-27

公开(公告)号：

CN109708593A

公开(公告)日：

2019-05-03

发明(设计)人：

孙胜利于清华陈凡胜林长青林加木

申请人：

申请人地址：

200083 上海市虹口区玉田路500号

IPC主分类号：

G01B1130

IPC分类号：

代理机构：

上海沪慧律师事务所 31311

代理人：

郭英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-03	公开	公开
2019-05-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/30 申请日:20190227

共 50 条

[1]

一种大规模拼接焦平面探测器平面度测量装置 [P].

孙胜利 ;

于清华 ;

陈凡胜 ;

林长青 ;

林加木 .

中国专利 :CN209445998U ,2019-09-27

[2]

一种平面度测量装置及测量方法 [P].

张军 ;

赵涵 ;

陈毅 .

中国专利 :CN110186363A ,2019-08-30

[3]

一种大规模红外焦平面探测器铟柱生长方法 [P].

白谢辉 ;

郭喜 ;

支淑英 .

中国专利 :CN102544217A ,2012-07-04

[4]

一种大规模小像元铟镓砷焦平面探测器制备方法 [P].

于春蕾 ;

李雪 ;

邵秀梅 ;

龚海梅 .

中国专利 :CN109449238A ,2019-03-08

[5]

红外焦平面探测器芯片的拼接方法 [P].

王春生 ;

东海杰 ;

孟令超 ;

鲍哲博 .

中国专利 :CN103021961A ,2013-04-03

[6]

一种红外焦平面探测器及其制备方法、平面探测装置 [P].

孔德玺 ;

李成 ;

周琳 ;

张洁 ;

程锦 ;

黄根 ;

陈紫霄 ;

彭志良 ;

崔颂 ;

王迎姿 .

中国专利 :CN115548043A ,2022-12-30

[7]

InSb焦平面探测器的制作方法和InSb焦平面探测器 [P].

谭启广 ;

张轶 .

中国专利 :CN114744003A ,2022-07-12

[8]

一种平面度测量方法及测量装置 [P].

程引渠 ;

韦启峰 .

中国专利 :CN109341642A ,2019-02-15

[9]

一种平面度测量装置及测量方法 [P].

王雷 ;

刘璐 .

中国专利 :CN114353705B ,2025-07-11

[10]

一种平面度测量装置及测量方法 [P].

王雷 ;

刘璐 .

中国专利 :CN114353705A ,2022-04-15

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