激光热处理方法,激光热处理装置以及半导体装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN00800825.6

申请日：

2000-03-08

公开(公告)号：

CN1304548A

公开(公告)日：

2001-07-18

发明(设计)人：

小川哲也时冈秀忠佐藤行雄井上满夫笹川智广宫坂光敏

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21268

IPC分类号：

H01L2120

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

杨凯;叶恺东

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-31	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/268 申请日:20000308 授权公告日:20041208
2001-10-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-12-08	授权	授权
2001-07-18	公开	公开

共 50 条

[1]

激光热处理装置及激光热处理方法 [P].

陈静 ;

蒋一鸣 ;

李红 ;

陈威 ;

李震 ;

朱津泉 ;

侯晓弈 ;

孙金召 .

中国专利 :CN109686686A ,2019-04-26

[2]

激光热处理装置及激光热处理方法 [P].

陈静 ;

蒋一鸣 ;

李红 ;

陈威 ;

李震 ;

朱津泉 ;

侯晓弈 ;

孙金召 .

中国专利 :CN109686686B ,2024-06-14

[3]

激光热处理装置 [P].

陈静 ;

蒋一鸣 ;

李红 ;

陈威 ;

李震 ;

朱津泉 ;

侯晓弈 ;

孙金召 .

中国专利 :CN209747455U ,2019-12-06

[4]

激光热处理装置 [P].

王世荣 .

中国专利 :CN209010559U ,2019-06-21

[5]

激光热处理装置和处理方法 [P].

周炯 ;

李志丹 ;

张俊 .

中国专利 :CN109935532B ,2019-06-25

[6]

激光热处理设备 [P].

梁相熙 ;

沈亨基 ;

罗玉钧 ;

安珍荣 .

中国专利 :CN103803945A ,2014-05-21

[7]

激光热处理设备 [P].

梁相熙 ;

沈亨基 ;

金锺明 .

中国专利 :CN104576449A ,2015-04-29

[8]

数控激光热处理头 [P].

邱禄魁 .

中国专利 :CN201395614Y ,2010-02-03

[9]

一种高功率半导体激光热处理装置 [P].

钟绪浪 ;

朱宝华 ;

罗又辉 ;

王瑾 ;

高云峰 .

中国专利 :CN209276564U ,2019-08-20

[10]

轧辊车削及激光热处理装置 [P].

杜建伟 .

中国专利 :CN202398818U ,2012-08-29

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