气浮式基板角度定位结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120213615.4

申请日：

2011-06-22

公开(公告)号：

CN202138864U

公开(公告)日：

2012-02-08

发明(设计)人：

徐益盛李育臻

申请人：

申请人地址：

中国台湾台北市南港区园区街3-2号6楼

IPC主分类号：

B65G5102

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申海庆

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B65G 51/02 申请日:20110622 授权公告日:20120208 终止日期:20180622
2012-02-08	授权	授权

共 50 条

[1]

气浮式基板输送装置 [P].

杨明生 ;

范振华 ;

覃海 ;

蓝劾 .

中国专利 :CN201626700U ,2010-11-10

[2]

基板气浮式载台 [P].

罗思湧 .

中国专利 :CN2480870Y ,2002-03-06

[3]

气浮二维角度调整台 [P].

张瑞杰 ;

管春晖 .

中国专利 :CN208992649U ,2019-06-18

[4]

气浮式液晶基板运输承载装置 [P].

李炳寰 ;

苏荣瑞 ;

叶公旭 ;

蔡友谅 ;

张志逢 .

中国专利 :CN2622131Y ,2004-06-30

[5]

气浮式烘干装置 [P].

彭权 .

中国专利 :CN204739871U ,2015-11-04

[6]

一种气浮式定位平台 [P].

杨国哲 ;

林海波 .

中国专利 :CN201833188U ,2011-05-18

[7]

气浮转台的气浮套结构 [P].

汤秀清 .

中国专利 :CN203717653U ,2014-07-16

[8]

气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置 [P].

丁力 ;

程常宝 ;

蔡杰 .

中国专利 :CN206188001U ,2017-05-24

[9]

气浮倾斜定位机构 [P].

王晓君 ;

史延广 ;

潘德灼 ;

龙会平 ;

吴和强 .

中国专利 :CN208922002U ,2019-05-31

[10]

气浮式振动过滤结构 [P].

朱建华 ;

薛惠忠 .

中国专利 :CN204981391U ,2016-01-20

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