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一种薄膜表面缺陷检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023096553.1
申请日：
2020-12-21
公开(公告)号：
CN213875462U
公开(公告)日：
2021-08-03
发明(设计)人：
顾华飞
申请人：
申请人地址：
226000 江苏省南通市开发区滨水路30号1幢一层
IPC主分类号：
G01N2189
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-03 | 授权 | 授权 |