基板承载台及承载装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110785202.1

申请日：

2021-07-12

公开(公告)号：

CN113571462A

公开(公告)日：

2021-10-29

发明(设计)人：

杜中辉

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L5156

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

邓敬威

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20210712
2021-10-29	公开	公开

共 50 条

[1]

基板承载台 [P].

楫间淳生 ;

高濑真治 ;

山口和伸 ;

山本夕记 .

中国专利 :CN1790660A ,2006-06-21

[2]

基板承载台及切割装置 [P].

刘陆 ;

李红 ;

蔡宝鸣 .

中国专利 :CN108817686A ,2018-11-16

[3]

基板承载装置 [P].

蔡佳仁 .

中国专利 :CN106783724A ,2017-05-31

[4]

基板夹持承载台 [P].

郑云龙 ;

张伟业 .

中国专利 :CN214446173U ,2021-10-22

[5]

基板承载台及基板处理方法 [P].

孟小龙 .

中国专利 :CN111564403A ,2020-08-21

[6]

承载装置、承载台和检测设备 [P].

张龙 ;

方一 ;

陈鲁 ;

张嵩 .

中国专利 :CN217426707U ,2022-09-13

[7]

柔性基板承载装置 [P].

葛沈浩 .

中国专利 :CN213401138U ,2021-06-08

[8]

玻璃基板承载装置 [P].

蔡茂协 .

中国专利 :CN201177705Y ,2009-01-07

[9]

用于承载基板的承载装置 [P].

王鹏 ;

张江涛 ;

许冬冬 ;

郭祥 .

中国专利 :CN104986573B ,2015-10-21

[10]

承载装置及承载方法 [P].

袁朝煜 ;

金祥 .

中国专利 :CN109483429A ,2019-03-19

← 1 2 3 4 5 →