一种薄膜热扩散系数的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811269170.4

申请日：

2018-10-29

公开(公告)号：

CN109557129B

公开(公告)日：

2019-04-02

发明(设计)人：

郑飞虎潘善照周川琦赵欠丽谢姣孙文举黄陈昱张冶文

申请人：

申请人地址：

200092 上海市杨浦区四平路1239号

IPC主分类号：

G01N2518

IPC分类号：

G01N2700

代理机构：

上海科盛知识产权代理有限公司 31225

代理人：

宣慧兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 25/18 申请日:20181029
2021-05-11	授权	授权
2019-04-02	公开	公开

共 50 条

[1]

测量热扩散系数的装置以及测量热扩散系数的方法 [P].

施智超 ;

吴金宝 ;

吕明生 .

中国专利 :CN103364391A ,2013-10-23

[2]

一种热扩散系数测量装置 [P].

林唯耕 ;

蔡謦锽 ;

彭咏达 ;

邱璿庭 ;

刘依甄 .

中国专利 :CN216900318U ,2022-07-05

[3]

一种光学材料热扩散系数的测量方法 [P].

李大伟 ;

李笑玲 ;

胡晨璐 ;

刘晓凤 ;

赵元安 ;

邵建达 .

中国专利 :CN114113207B ,2024-03-01

[4]

一种光学材料热扩散系数的测量方法 [P].

李大伟 ;

李笑玲 ;

胡晨璐 ;

刘晓凤 ;

赵元安 ;

邵建达 .

中国专利 :CN114113207A ,2022-03-01

[5]

一种带基底介质薄膜的热扩散系数测量方法及装置 [P].

郑飞虎 ;

陈师杰 .

中国专利 :CN114384118A ,2022-04-22

[6]

一种基于LFM的材料热扩散系数测量方法及装置 [P].

侯丽爱 ;

耿悦 ;

王立军 ;

张林锋 ;

沈鑫豪 ;

宋玉倩 ;

房威振 ;

李文军 ;

王兴宇 ;

毛敏军 ;

牛宏亮 ;

沈江 .

中国专利 :CN117589819A ,2024-02-23

[7]

一种固体材料热扩散系数测量装置及其测量方法 [P].

郑金成 ;

付攀 ;

孙振宁 ;

张宇峰 .

中国专利 :CN105301044A ,2016-02-03

[8]

一种热扩散系数测量装置及方法 [P].

冯喜平 ;

张坤 ;

梁群 ;

王乐 ;

陈嘉辉 .

中国专利 :CN112305020A ,2021-02-02

[9]

一种测量微米厚度薄膜法向热扩散系数的方法和装置 [P].

韩猛 ;

曾小亮 ;

许建斌 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN115524360A ,2022-12-27

[10]

一种热扩散系数测试方法 [P].

王阳 ;

吴宪 ;

彭广瑞 ;

原涛 ;

张蕾 ;

高增华 ;

张昊 .

中国专利 :CN112666206A ,2021-04-16

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