一种单凸梁式微机械加速度传感器

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201320386160.5
申请日
2013-07-02
公开(公告)号
CN203365461U
公开(公告)日
2013-12-25
发明(设计)人
孙远程 袁明权 张茜梅 王海青 武蕊 屈明山
申请人
申请人地址
621900 四川省绵阳市919信箱512分箱
IPC主分类号
G01P1512
IPC分类号
代理机构
中国工程物理研究院专利中心 51210
代理人
翟长明;韩志英
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单凸梁式微机械加速度传感器 [P]. 
孙远程 ;
袁明权 ;
张茜梅 ;
王海青 ;
武蕊 ;
屈明山 .
中国专利 :CN103308718A ,2013-09-18
[2]
一种三凸梁式微机械加速度传感器 [P]. 
孙远程 ;
苏伟 ;
袁明权 ;
张茜梅 ;
王海青 ;
武蕊 ;
屈明山 .
中国专利 :CN203365460U ,2013-12-25
[3]
一种三凸梁式微机械加速度传感器 [P]. 
孙远程 ;
苏伟 ;
袁明权 ;
张茜梅 ;
王海青 ;
武蕊 ;
屈明山 .
中国专利 :CN103323623B ,2013-09-25
[4]
一种双悬臂梁式微机械加速度传感器 [P]. 
孙远程 ;
袁明权 ;
张茜梅 ;
王海青 ;
武蕊 ;
屈明山 .
中国专利 :CN203324300U ,2013-12-04
[5]
一种双悬臂梁式微机械加速度传感器 [P]. 
孙远程 ;
袁明权 ;
张茜梅 ;
王海青 ;
武蕊 ;
屈明山 .
中国专利 :CN103293336A ,2013-09-11
[6]
一种电容式微机械加速度传感器 [P]. 
杨杰 ;
唐彬 ;
许蔚 ;
谢国芬 ;
莫与明 ;
曲兵兵 .
中国专利 :CN208367031U ,2019-01-11
[7]
一种电容式微机械加速度传感器 [P]. 
杨杰 ;
唐彬 ;
许蔚 ;
谢国芬 ;
莫与明 ;
曲兵兵 .
中国专利 :CN108828265A ,2018-11-16
[8]
一种电容式微机械加速度传感器 [P]. 
杨杰 ;
唐彬 ;
许蔚 ;
谢国芬 ;
莫与明 ;
曲兵兵 .
中国专利 :CN108828265B ,2024-05-07
[9]
一种非对称梁谐振式微机械加速度传感器、加速度测量方法 [P]. 
刘猛 ;
唐彬 ;
王超 ;
赵剑 .
中国专利 :CN112285383A ,2021-01-29
[10]
脉冲微机械加速度传感器 [P]. 
王晨 ;
白剑 ;
吴阳阳 .
中国专利 :CN204479609U ,2015-07-15