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三维存储器制造方法及三维存储器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010161888.2
申请日：
2020-03-10
公开(公告)号：
CN111326522A
公开(公告)日：
2020-06-23
发明(设计)人：
吴林春
杨永刚
周文犀
申请人：
申请人地址：
430078 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
H01L2711563
IPC分类号：
H01L2711565
H01L2711578
H01L21308
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
王一童;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-23 | 公开 | 公开 |
| 2020-07-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/11563 申请日:20200310 |
| 2021-11-05 | 授权 | 授权 |