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一种光电膜厚测量仪
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111493152.6
申请日：
2021-12-08
公开(公告)号：
CN114166135A
公开(公告)日：
2022-03-11
发明(设计)人：
程菊
马春林
沈伟丽
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江西路111号
IPC主分类号：
G01B1106
IPC分类号：
代理机构：
深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646
代理人：
付钦伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-11 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20211208 |