TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法

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专利类型
发明
申请号
CN200710080314.7
申请日
2007-02-27
公开(公告)号
CN101255012A
公开(公告)日
2008-09-03
发明(设计)人
王泊可
申请人
申请人地址
中国台湾桃园县八德市和成路33号
IPC主分类号
C03C1500
IPC分类号
H01L21311
代理机构
北京汇智英财专利代理事务所
代理人
刘祖芬
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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