一种磷化铟高压单晶生长炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021023171.3

申请日：

2020-06-07

公开(公告)号：

CN213013163U

公开(公告)日：

2021-04-20

发明(设计)人：

张华芹程佳彪弓利军

申请人：

申请人地址：

201612 上海市松江区漕河泾开发区松江高科技园莘砖公路258号39幢402室-1

IPC主分类号：

C30B1100

IPC分类号：

C30B2940

代理机构：

上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306

代理人：

谢小军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磷化铟单晶生长炉 [P].

肖祥江 ;

囤国超 ;

吕春富 ;

任洋 ;

叶晓达 ;

董汝昆 ;

杨嗣文 ;

梁鹏 .

中国专利 :CN207525375U ,2018-06-22

[2]

一种磷化铟单晶生长炉的支撑装置 [P].

于会永 ;

冯佳峰 ;

赵中阳 ;

赵春锋 ;

张军军 ;

雷仁贵 ;

肖亚东 ;

袁韶阳 ;

吴凤祥 .

中国专利 :CN211771658U ,2020-10-27

[3]

一种磷化铟单晶生长炉的支撑装置 [P].

范博 .

中国专利 :CN220817153U ,2024-04-19

[4]

一种磷化铟单晶生长炉的支撑装置 [P].

肖祥江 ;

囤国超 ;

吕春富 ;

任洋 ;

董汝昆 ;

陈朝向 ;

杨嗣文 ;

梁鹏 .

中国专利 :CN207582002U ,2018-07-06

[5]

一种磷化铟单晶生长炉以及生长方法 [P].

李雪峰 ;

肖燕青 ;

囤国超 ;

杨海超 .

中国专利 :CN118814274A ,2024-10-22

[6]

一种用于VGF磷化铟单晶生长炉内的炉芯 [P].

赵兴凯 ;

韦华 ;

叶晓达 ;

包文瑧 ;

韩家贤 ;

王顺金 ;

陈娅君 ;

祝永成 ;

柳廷龙 ;

黄平 ;

刘汉保 .

中国专利 :CN215328462U ,2021-12-28

[7]

一种五级温控磷化铟单晶生长炉 [P].

方满棠 ;

王忆 .

中国专利 :CN121087619A ,2025-12-09

[8]

一种用于制备磷化铟单晶的高压炉 [P].

文松 ;

葛如松 .

中国专利 :CN208618007U ,2019-03-19

[9]

一种稳定控温的磷化铟单晶生长炉 [P].

姜健 ;

戴磊 ;

王鑫 ;

吕可慧 .

中国专利 :CN222631614U ,2025-03-18

[10]

一种磷化铟单晶生长装置 [P].

关活明 .

中国专利 :CN206624947U ,2017-11-10

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