基于硅衬底的聚合物光波导器件的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410053794.4

申请日：

2004-08-14

公开(公告)号：

CN1243286C

公开(公告)日：

2005-03-02

发明(设计)人：

李锡华王明华江晓清周强杨建义

申请人：

申请人地址：

310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2100 G02B600

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司

代理人：

林怀禹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-10-15	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2006-02-22	授权	授权
2005-03-02	公开	公开

共 50 条

[1]

聚合物光波导器件 [P].

李艮生 .

中国专利 :CN201965254U ,2011-09-07

[2]

聚合物光波导器件及其制备方法 [P].

马麟 ;

何祖源 ;

刘旭 ;

钟鸣 ;

李合元 .

中国专利 :CN117631150A ,2024-03-01

[3]

聚合物光波导器件及其制造方法 [P].

金银枝 ;

金定姬 ;

张祐赫 ;

韩官秀 ;

李泰衡 .

中国专利 :CN1122186C ,2000-12-20

[4]

聚合物光波导器件及其制备方法 [P].

马麟 ;

何祖源 ;

钟鸣 ;

刘旭 ;

李合元 .

中国专利 :CN117631149A ,2024-03-01

[5]

聚合物上硅光波导 [P].

杨建义 ;

王帆 ;

李广波 ;

江晓清 ;

王明华 .

中国专利 :CN1727928A ,2006-02-01

[6]

基于硅衬底氮化物的悬空光波导器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

于庆龙 ;

胡芳仁 ;

朱洪波 .

中国专利 :CN102778724A ,2012-11-14

[7]

一种直写制备聚合物光波导的装置 [P].

曾晓雁 ;

王泽敏 ;

李祥友 ;

李金洪 ;

董林红 ;

朱大庆 .

中国专利 :CN201017057Y ,2008-02-06

[8]

聚合物光波导路器件的制造方法 [P].

山口正利 ;

黑田敏裕 ;

金泽稔彦 .

中国专利 :CN101027581A ,2007-08-29

[9]

一种聚合物光波导芯片的制作方法 [P].

陶青 ;

王珏 ;

刘顿 ;

陈列 ;

娄德元 ;

杨奇彪 ;

彼得·贝内特 ;

翟中生 ;

郑重 .

中国专利 :CN107144919A ,2017-09-08

[10]

基于聚合物波导的光纤与硅波导耦合结构及其制作方法 [P].

王磊 .

中国专利 :CN104459890B ,2015-03-25

← 1 2 3 4 5 →