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基板清洗刷、和使用该刷的基板处理装置及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200610105801.X
申请日：
2006-07-07
公开(公告)号：
CN100534644C
公开(公告)日：
2007-01-10
发明(设计)人：
岩见优树
佐藤雅伸
申请人：
申请人地址：
日本京都府京都市
IPC主分类号：
B08B100
IPC分类号：
B08B1100
H01L21304
代理机构：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人：
徐 恕
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-04-01 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713296446 IPC(主分类):B08B 1/00 专利号:ZL200610105801X 变更事项:专利权人 变更前:大日本网屏制造株式会社 变更后:斯克林集团公司 变更事项:地址 变更前:日本京都府京都市 变更后:日本京都府京都市 |
| 2015-04-01 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713296445 IPC(主分类):B08B 1/00 专利号:ZL200610105801X 变更事项:专利权人 变更前:大日本网目版制造株式会社 变更后:大日本网屏制造株式会社 变更事项:地址 变更前:日本京都府京都市 变更后:日本京都府京都市 |
| 2007-03-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2009-09-02 | 授权 | 授权 |
| 2007-01-10 | 公开 | 公开 |