流量传感器的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110393894.1

申请日：

2011-12-01

公开(公告)号：

CN102515087A

公开(公告)日：

2012-06-27

发明(设计)人：

张挺薛维佳谢志峰

申请人：

申请人地址：

200233 上海市徐汇区虹漕路385号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈亮

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-27	公开	公开
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101320542490 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2011103938941 申请日:20111201
2014-12-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101708901813 IPC(主分类):G01F 1/69 专利申请号:2011103938941 申请公布日:20120627

共 50 条

[1]

采用腐蚀自停止方式制造流量传感器的方法 [P].

薛维佳 ;

张艳红 ;

张挺 .

中国专利 :CN102491260A ,2012-06-13

[2]

采用正面腐蚀方式制造流量传感器的方法 [P].

薛维佳 ;

席韡 ;

陈晨 ;

王林军 ;

闵嘉华 ;

史伟民 .

中国专利 :CN102942157A ,2013-02-27

[3]

流量传感器及其制造方法以及流量传感器组件 [P].

河野务 ;

冈本裕树 ;

森野毅 ;

半泽惠二 .

中国专利 :CN102162744B ,2011-08-24

[4]

流量传感器及其制造方法以及流量传感器组件 [P].

河野务 ;

冈本裕树 ;

森野毅 ;

半泽惠二 .

中国专利 :CN103791956A ,2014-05-14

[5]

MEMS流量传感器的制造方法 [P].

张旭辉 ;

徐爱东 ;

卞玉民 ;

杨拥军 .

中国专利 :CN107500244A ,2017-12-22

[6]

MEMS流量传感器的制造方法 [P].

张旭辉 ;

徐爱东 ;

卞玉民 ;

杨拥军 .

中国专利 :CN107500244B ,2024-07-26

[7]

流量传感器 [P].

佐久间宪之 ;

山本直树 ;

武田健一 ;

福田宏 .

中国专利 :CN1928508A ,2007-03-14

[8]

流量传感器组件、流量传感器及其制造方法 [P].

王勇 ;

郭建恒 .

中国专利 :CN118032066A ,2024-05-14

[9]

流量传感器组件、流量传感器及其制造方法 [P].

王勇 ;

郭建恒 .

中国专利 :CN118032066B ,2024-06-25

[10]

流量传感器及其制造方法和流量传感器模块及其制造方法 [P].

河野务 ;

半泽惠二 ;

森野毅 ;

冈本裕树 ;

德安升 ;

田代忍 .

中国专利 :CN103994794A ,2014-08-20

← 1 2 3 4 5 →