气体填充和分配装置以及包括这种装置的组件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200980103577.2
申请日
2009-01-28
公开(公告)号
CN101932868A
公开(公告)日
2010-12-29
发明(设计)人
A·莫莱迪 P·皮索 A·丹尼斯 G·勒梅勒
申请人
申请人地址
法国巴黎
IPC主分类号
F17C1304
IPC分类号
代理机构
北京市中咨律师事务所 11247
代理人
吴鹏;柴智敏
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
加压气体分配装置、包括这种装置和控制装置的组件以及设有这种分配装置的容器 [P]. 
A·莫莱迪 ;
P·皮索 .
中国专利 :CN102027284B ,2011-04-20
[2]
气体填充和分配装置以及填充方法 [P]. 
A·莫莱迪 ;
P·皮索 ;
M·杜邦 .
中国专利 :CN101952637A ,2011-01-19
[3]
气体分配装置和包括这种装置的设备 [P]. 
L·阿利迪热斯 .
中国专利 :CN102822578B ,2012-12-12
[4]
气体填充和分配装置、包括一孔口的加压气体容器以及组件 [P]. 
A·莫莱迪 ;
P·皮索 .
中国专利 :CN101946114B ,2011-01-12
[5]
分配装置以及包括这种分配装置的容器 [P]. 
赫维·伊莫讷兹 ;
克里斯多夫·德桑尤斯 ;
乔纳森·伍德曼 .
中国专利 :CN107029951A ,2017-08-11
[6]
分配装置和这种分配装置的组 [P]. 
J·托马 ;
M·布吕莱 .
中国专利 :CN105314161A ,2016-02-10
[7]
气体分配装置和包括该气体分配装置的衬底处理设备 [P]. 
李宪福 ;
金大容 ;
金东佑 ;
朴俊起 ;
李相烨 ;
玄尚镇 .
中国专利 :CN110299309A ,2019-10-01
[8]
气体分配装置和包括该气体分配装置的衬底处理设备 [P]. 
李宪福 ;
金大容 ;
金东佑 ;
朴俊起 ;
李相烨 ;
玄尚镇 .
韩国专利 :CN110299309B ,2024-07-09
[9]
分配装置以及填充方法 [P]. 
丹尼尔·皮 ;
朱利安·占 ;
诺伯特·M·阿西恩 .
中国专利 :CN101274683A ,2008-10-01
[10]
气体分配装置及包括该气体分配装置的基板处理设备 [P]. 
都在辙 ;
全富一 ;
宋明坤 ;
李政洛 .
中国专利 :CN102299045A ,2011-12-28