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一种高节能纳米真空蒸发源
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020211242.6
申请日：
2020-02-25
公开(公告)号：
CN211947202U
公开(公告)日：
2020-11-17
发明(设计)人：
王宁
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88-1号8209室
IPC主分类号：
C23C1426
IPC分类号：
代理机构：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260
代理人：
许云峰
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-08 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/26 登记生效日:20220223 变更事项:专利权人 变更前权利人:苏州泓沵达仪器科技有限公司 变更后权利人:英纳科（苏州）半导体科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88-1号8209室 变更后权利人:215000 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路168号（凌益路北侧） |
| 2020-11-17 | 授权 | 授权 |