晶片位置教示方法和教示用夹具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02817554.9

申请日：

2002-09-06

公开(公告)号：

CN100431806C

公开(公告)日：

2004-12-08

发明(设计)人：

足立胜川边满德繁定贤

申请人：

申请人地址：

日本福冈

IPC主分类号：

B25J922

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

李辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-02-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-12-08	公开	公开
2008-11-12	授权	授权
2018-08-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B25J 9/22 申请日:20020906 授权公告日:20081112 终止日期:20170906

共 50 条

[1]

晶片位置示教方法及示教夹具装置 [P].

足立胜 ;

川边满德 .

中国专利 :CN101223010A ,2008-07-16

[2]

半导体晶片示教夹具 [P].

丁炳铁 .

中国专利 :CN105374258A ,2016-03-02

[3]

示教位置修正装置和示教位置修正方法 [P].

小洼恭平 .

中国专利 :CN108994876A ,2018-12-14

[4]

示教系统和示教方法 [P].

桑原康一 .

中国专利 :CN104552298A ,2015-04-29

[5]

运动示教系统和运动示教方法 [P].

高井飞鸟 ;

野田智之 ;

朱塞佩·里斯 ;

寺前达也 ;

森本淳 ;

今水宽 .

中国专利 :CN109310561B ,2019-02-05

[6]

离线示教装置和离线示教方法 [P].

平山正弥 ;

冈崎嘉幸 ;

大熊克明 .

日本专利 :CN117580688A ,2024-02-20

[7]

离线示教装置和离线示教方法 [P].

平山正弥 ;

冈崎嘉幸 ;

大熊克明 .

日本专利 :CN117545601A ,2024-02-09

[8]

离线示教设备和离线示教方法 [P].

平山正弥 ;

冈崎嘉幸 ;

大熊克明 .

日本专利 :CN118401337A ,2024-07-26

[9]

交接位置示教方法、交接位置示教装置及基板处理装置 [P].

吉田武司 .

中国专利 :CN103972137B ,2014-08-06

[10]

示教方法以及示教装置 [P].

萩尾贤昭 ;

小林稔 .

日本专利 :CN117325187A ,2024-01-02

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