一种硅片镀膜色差片的返工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410087084.7

申请日：

2014-03-11

公开(公告)号：

CN103887369A

公开(公告)日：

2014-06-25

发明(设计)人：

杜玉

申请人：

申请人地址：

053000 河北省衡水市经济开发区纬十七路969号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

C30B3310

代理机构：

石家庄国为知识产权事务所 13120

代理人：

李荣文

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20140311 授权公告日:20161026 终止日期:20170311
2014-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583894103 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2014100870847 申请日:20140311
2016-10-26	授权	授权
2014-06-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种镀膜返工片的清洗方法 [P].

苗丽燕 .

中国专利 :CN103894362A ,2014-07-02

[2]

一种电池片PECVD镀膜后返工片的处理方法 [P].

刘文国 ;

苏世杰 ;

李强强 ;

张玉前 ;

尹丙伟 .

中国专利 :CN107331734A ,2017-11-07

[3]

一种单晶PERC镀膜返工片的清洗方法 [P].

李学峰 .

中国专利 :CN109713079A ,2019-05-03

[4]

硅片的返工处理方法 [P].

孙林杰 ;

孙伟 ;

钱明星 ;

麻晓园 ;

韩少鹏 .

中国专利 :CN102185015A ,2011-09-14

[5]

一种PERC电池PECVD镀膜不良片的返工清洗方法 [P].

王英杰 ;

何跃 ;

宋飞飞 ;

任勇 .

中国专利 :CN112670166A ,2021-04-16

[6]

硅片的返工系统及方法 [P].

刘源 ;

汪燕 .

中国专利 :CN108818161A ,2018-11-16

[7]

一种硅片沾污不良返工方法 [P].

史海仝 ;

张堪 ;

白玉麟 ;

王超 ;

王帅 ;

谭永麟 ;

孙晨光 ;

王彦君 .

中国专利 :CN115410900A ,2022-11-29

[8]

一种丝网印刷返工硅片的处理方法 [P].

陈同银 ;

刘仁中 ;

张斌 ;

邢国强 .

中国专利 :CN104009122B ,2014-08-27

[9]

一种丝网印刷返工硅片的处理方法 [P].

韩帅君 ;

李向前 ;

张明坤 ;

景彦娇 ;

张永伟 .

中国专利 :CN102074617B ,2011-05-25

[10]

一种PVD返工片返工工艺 [P].

王诗荣 ;

徐博斐 ;

赵寿凯 ;

王海军 ;

侯洪涛 .

中国专利 :CN119029094A ,2024-11-26

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